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新型MEMS微纳电容式多功能传感器芯片的产业化
关键字：
电容式
多功能传感器芯片
所属行业：
电子信息
发布时间：
2015-12-09
价格：
所在地区：
江苏 苏州
合作信息期限：
2017年6月
合作信息类型：
意向合作
机构类型：
科研院所
供求关系：
供应
合作信息简介：
本项目创新性地研制MEMS集成压力/拉力/位移检测的多功能、高分辨率、和高灵敏度的微纳电子传感器芯(Micro/Nano-electronic Sensor Chips)，将填补国际上在微纳尺度应用于多功能传感检测的空白。本产品系利用微机电系统(MEMS)设计和加工技术的特殊优势，借助UV-LIGA(光刻、电铸)技术，通过可变电容和机..
发布机构：
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
共
1
页 总数：
2
条
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