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4英寸快速热处理设备简介
关键字:
快速热处理
所属行业:
机械
发布时间:
2014-10-17
价格:
所在地区:
北京 海淀区
合作信息期限:
2015年12月
合作信息类型:
成果转让
机构类型:
高等院校
供求关系:
供应
合作信息简介:
RTP(快速热处理设备)是逐渐广泛应用于硅及其化合物半导体材料离子注入后的退火,硅化合物的形成,欧姆接触制备以及快速氧化、北京航空航天大学科研推广项目汇编快速氮化等工艺中。该设备大范围控制炉内温度的能力,配备计算机控制系统后,可灵活实现热处理过程控制,用户根据自己的设计可以实现热处..
发布机构:
北京航天航天大学
共
1
页 总数:
2
条
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