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系列罗茨干式真空泵机组
关键字：
罗茨
干式
真空泵机组
所属行业：
其他
发布时间：
2015-12-15
价格：
所在地区：
辽宁 沈阳
合作信息期限：
2017年4月
合作信息类型：
意向合作
机构类型：
科研院所
供求关系：
供应
合作信息简介：
该成果解决了洁净真空获得系统与集成电路制造工艺的优化组合、理论型线设计与多种转子形式的组合、密封结构和振动/噪声抑制技术、表面防腐技术、控制/反馈软件与通用控制接口结合、电机与驱动系统设计等关键技术，具有完全自主知识产权，可应用于标准/中度腐蚀/强度腐蚀等各种工艺环境，技术水平达到..
发布机构：
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
共
1
页 总数：
2
条
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