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用于高真空测量的电容式微型真空规
关键字：
电容式
微型
真空规
所属行业：
机械
发布时间：
2015-08-06
价格：
所在地区：
福建 厦门
合作信息期限：
2016年10月
合作信息类型：
意向合作
机构类型：
高等院校
供求关系：
供应
合作信息简介：
成果名称：用于高真空测量的电容式微型真空规 成果拥有单位：厦门大学 成果简介： 以MEMS技术为基础的硅微机械真空传感器具有体积小、重量轻、成本低、可批量生产和单片集成等优点，满足国际上真空计的发展要求。该真空规为一种以MEMS技术为基础的电容式硅微真空传感器，它主要..
发布机构：
厦门大学
共
1
页 总数：
2
条
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