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大面积并联高密度感应耦合等离子体源
关键字：
离子体源
高密度
所属行业：
电力
发布时间：
2015-09-23
价格：
所在地区：
江苏 苏州
合作信息期限：
2016年7月
合作信息类型：
意向合作
机构类型：
高等院校
供求关系：
供应
合作信息简介：
成果名称：大面积并联高密度感应耦合等离子体源 成果简介： 本专利公开了一种大面积并联高密度感应耦合等离子体源，包括射频电源、匹配网络、外置天线和真空腔体等。采用了创新的感应天线的绕制方法，提高了射频功率的耦合效率，增强了等离子体密度，改善了其放电均匀性，设计与制作简..
发布机构：
苏州大学科学技术与产业部
共
1
页 总数：
2
条
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