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合作（1）
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知识
MEMS检测及微操作系统
关键字：
MEMS检测
所属行业：
机械
发布时间：
2014-11-07
价格：
所在地区：
黑龙江 哈尔滨
合作信息期限：
2015年12月
合作信息类型：
成果转让
机构类型：
高等院校
供求关系：
供应
合作信息简介：
主要完成一个自动化的MEMS封装和检测系统。封装主要是完成0-20mm的两个极板的对准和粘接，粘接是在对准后，通过加压，使极板与芯片接触并并粘合；检测主要是完成0-20mm的MEMS芯片的表面非接触检测，包括：表面形貌（主要指粗糙度）、各种沟槽的三维几何测量。 技术指标 1、封装技术指标 ..
发布机构：
哈尔滨工业大学
共
1
页 总数：
2
条
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