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系列罗茨干式真空泵机组
罗茨
干式
真空泵机组
所属行业:
其他
合作信息期限:
2017-4
参考价格:
面议
合作信息类型:
意向合作
机构类型:
科研院所
供求关系:
供应
合作信息简介:
该成果解决了洁净真空获得系统与集成电路制造工艺的优化组合、理论型线设计与多种转子形式的组合、密封结构和振动/噪声抑制技术、表面防腐技术、控制/反馈软件与通用控制接口结合、电机与驱动系统设计等关键技术,具有完全自主知识产权,可应用于标准/中度腐蚀/强度腐蚀等各种工艺环境,技术水平达到..
系列涡旋干式真空泵
涡旋干式
真空泵
所属行业:
其他
合作信息期限:
2017-4
参考价格:
面议
合作信息类型:
意向合作
机构类型:
科研院所
供求关系:
供应
合作信息简介:
涡旋干式真空泵是一种真正意义上的清洁无油、高效率的真空获得设备,主要应用于集成电路、半导体、医疗、生物制药、食品等领域,解决了真空仪器设备的油污染问题,成为了世界上发展最快的泵种之一。沈阳科仪公司攻克了涡旋型线修正、涡旋盘加工工艺、泵表面处理方法、密封材料、间隙与极限真空关系研..
系列大型平板太阳能电池PECVD覆膜系统
覆膜系统
所属行业:
其他
合作信息期限:
2017-2
参考价格:
面议
合作信息类型:
意向合作
机构类型:
科研院所
供求关系:
供应
合作信息简介:
该成果是制备太阳能光伏电池减反射膜的专用装备,适用于晶硅光伏电池生产线。项目解决了大功率等离子体技术、硅片注氢技术、强冷却技术、大型平板加热均匀性控制技术、载板自动传输系统等关键技术问题,采用模块化设计,整个生产工艺过程全自动操作,具有产能高、成膜效率高、性能稳定、操作简单等特..
蓝宝石晶体生长炉
蓝宝石
晶体
生长炉
所属行业:
其他
合作信息期限:
2017-5
参考价格:
面议
合作信息类型:
意向合作
机构类型:
科研院所
供求关系:
供应
合作信息简介:
该成果主要用于蓝宝石晶体材料制备。项目攻克了晶体生长区温度控制技术、载气流量和气压稳定性控制技术、提拉旋转机构稳定性控制技术等三项关键技术难题,研制出了适用于生产线需求的系列蓝宝石晶体生长炉及晶体材料生长工艺。成果具有节能降耗、操作方便、控制精度高,抗干扰能力强、晶体质量好,成..
共
1
页 总数:
4
条
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