基于直线电机的运动平台监控系统，可以支持直驱平台实现二维、三维或多维的超高速和超精密运动。目前在半导体装备、激光打标、PCB加工、机床等行业已经得到广泛应用。其精度和分辨率均在微米级。目前主要应用如下。