采用金属波纹管作为执行元件，金属波纹管安装在载物台上，将输入压力变为位移的线性输出；载物台安装在气浮导轨上，气浮导轨通过外部输入的压力气体在气浮导轨定子和动子之间形成一层气膜，从而形成了一个润滑层，使得气浮导轨动子可以无摩擦运行，从而使气动伺服执行器获得较高的运动精度和定位精度。