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高性能氮化镓基电子材料
关键字：
微电子
氮化镓
所属行业：
机械、电子信息、先进装备制造
发布时间：
2015-06-02
价格：
所在地区：
北京 海淀区
合作信息期限：
2016年12月
合作信息类型：
意向合作
机构类型：
企业
供求关系：
供应
合作信息简介：
【技术领域】微电子与电子信息 【技术开发单位】中国科学院半导体研究所 【技术简介】采用金属有机化学气相沉积（MOCVD）方法，在蓝宝石或碳化硅衬底上外延高性能氮化镓（GaN）基电子材料。 【技术特点】采用本技术制备GaN基电子材料，生长速度快，产量高，质量、重复性和均匀性..
发布机构：
中国科学院半导体研究所
共
1
页 总数：
2
条
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